クリーン度の規格
空間の清浄度を定量的に表現するために、いくつかの規格があります。基本的には単位体積当たりの空気中の浮遊微粒子の数で、クラス分けを行います。世界的に統一した規格の制定をめざして、国際規格ISO14644-1が制定されています。ただ、日本国内では長年にわたって使用してきた米国連邦規格(旧FED-STD-209D)がまだまだ使われています。ここでは、この２種類の規格についてのクラス分類表を掲載します。
ISO14644-1規格

1m3当たりの空気中に存在する浮遊微粒子の上限数でクラス分けを行います。基準となる粒子径は0.1μmです。

米国連邦規格
旧FED-STD-209D

1cf（1立方フィート）当たりの空気中に存在する浮遊微粒子の上限濃度でクラス分けを行います。基準となる粒子径は0.5μmです。

■ISO14644-1規格　粒子上限濃度
清浄度クラス　　　　粒子径 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
ISOクラス1 10 2
ISOクラス2 100 24 10 4
ISOクラス3 1000 237 102 35 8
ISOクラス4 10000 2370 1020 352 83
ISOクラス5 100000 23700 10200 3520 832 29
ISOクラス6 1000000 237000 102000 35200 8320 293
ISOクラス7 352000 83200 2930
ISOクラス8 3520000 832000 29300
ISOクラス9 35200000 8320000 293000
(単位 : 個/m3)
■旧FED-STD-209D規格　粒子上限濃度
清浄度クラス 0.5μm以上の粒子径の上限濃度(個/cf) 備考
クラス1 1 ISOクラス3相当
クラス10 10 ISOクラス4相当
クラス100 100 ISOクラス5相当
クラス1000 1000 ISOクラス6相当
クラス10000 10000 ISOクラス7相当
クラス100000 100000 ISOクラス8相当